材料本身所具有（yǒu）的性能（néng），必須通過正確的（de）熱處理手（shǒu）段來達到。隻有良好（hǎo）的熱處理手段，才能實現我（wǒ）們預想的性能（néng）期望。根據塑封模（mó）具材（cái）料性能要求，塑封（fēng）模熱處理手段主要是高溫淬火、深冷處理、高溫回火，並多次反複，通過這些不同的處理（lǐ），達到最佳的模具性能。 
1、高溫淬火 
    為了提高材料的剛性和耐（nài）磨損性，一般材料均需加熱到（dào）1030℃以上。高溫下，各種合金元素充分溶解於奧（ào）氏體內，以便在淬火時獲得高的基體（tǐ）硬度，同時為了保證零件不發生脫碳氧化，相應采用了真空處理。目前半導體行（háng）業內使用的高速率氣淬淬火爐，可以在高真空條件（jiàn）下通過氮氣保護對工件進行（háng）加熱，既保證了工件的脫（tuō）碳氧化，又防止了合金元素的蒸發（fā）。同（tóng）時采（cǎi）用200-500Kpa範圍內可調節氣體壓力，對工件進行淬火冷卻，在保證工件充分淬透的同時（shí）又減（jiǎn）少了變形。 
2、深冷處理與（yǔ）高溫回火 
    高合金鋼在淬火後，由於（yú）其馬氏體轉變點（Ms點）均高於室溫，為了（le）提高硬度，保（bǎo）證尺寸穩定性，通常要（yào）進行深冷處理（lǐ）和高溫回火，以保證殘餘奧氏體充分轉變為穩定（dìng）的回火馬氏體。我們將（jiāng）經過真空淬火後（hòu）的工件，在（zài）室溫至100℃之間進行校正，然後放入-140℃的深冷處理箱中進行深（shēn）冷。工件在不出爐的情況（kuàng）下，可以在-140℃至230℃之間進行冷熱循環，保證工件不（bú）會因為進出（chū）爐而產生變形或開裂。同時由於采（cǎi）用氮氣保護也避免了工件在回火中的氧化（huà）開裂。目前對（duì）於D2類材料，我們通常在深冷設備中直接完成-140℃深冷至230℃回火的（de）3次循環。對於高於（yú）230℃回火的鋼種如（rú）SAM97、ELmax、ASP23等，我們采用了真空回（huí）火爐，在抽真空後，加入99.999%的高純氮氣作為介質，通過吹風方向的改變來形（xíng）成對流，保證了工（gōng）件的溫度均勻性，同時節省了（le）回火時間。 
3、其它輔助手段 
    在提高了（le）淬火回火及深冷處理質量的（de）同時，我們同時對工件的其它環節給予了充分的重視，過去認為的熱處理工件（jiàn）潔淨度與（yǔ）處理無關的（de）觀點已經被拋棄，增加潔（jié）淨預處理。即將未入爐零件，通過真空清洗機進（jìn）行真空去油、脫脂、幹燥。去除了工件的各類加工油汙和碎屑，保證了入爐工件（jiàn）不會帶入（rù）其它（tā）雜質，避免（miǎn）了在高溫加熱時雜質分（fèn）解，汙染爐（lú）內環境和工件本身，從微觀上保證了工件的（de）組織潔淨度和處理質（zhì）量（liàng）的完美（měi）性，提高了工件的使用（yòng）壽命。

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